[7a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

10:00 〜 10:15

[7a-N301-5] r面サファイア基板の熱処理による非極性面AlNの面方位制御

〇森 新之助¹、赤池 良太^1,2、安永 弘樹^2,3、中村 孝夫^1,2、三宅 秀人^1,2 (1.三重大院工、2.三重大半デセンター、3.三重大研基機構)

キーワード：

窒化アルミニウム、非極性