[7a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

10:45 〜 11:00

[7a-N301-7] Ｘ線ロッキングカーブからのAlN膜における螺旋転位密度の推定

〇原 蓮之介¹、赤池 良太^1,2、安永 弘樹^2,3、中村 孝夫^1,2、三宅 秀人^1,2 (1.三重大院工、2.三重大半デセンター、3.三重大研基機講)

キーワード：

窒化アルミニウム(AlN)、螺旋転位密度