[7a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

11:15 〜 11:30

[7a-N301-9] スパッタ・アニール法による半極性(11-22)AlN上へのAlGaN多重量子井戸作製

〇大矢 健世¹、赤池 良太^1,2、安永 弘樹^2,3、中村 孝夫^1,2、三宅 秀人^1,2 (1.三重大院工、2.三重大半デセンター、3.三重大研基機構)

キーワード：

窒化アルミニウムガリウム、多重量子井戸、半極性面