講演情報
[7a-N321-3]テラヘルツエリプソメトリによる異方性のある表面伝導薄膜の解析
〇岡本 章宏1、永井 正也1、芦田 昌明1、藤井 高志2 (1.阪大院基礎工、2.日邦プレシジョン)
キーワード：
半導体、エリプソメトリ、テラヘルツ
本講演では、GaAs薄膜に対してTHz磁気光学エリプソメトリを実施し、得られた実験データを用いて解析を行う。解析には、薄膜の誘電応答を基板表面に流れる表面電流として扱い、複素反射率を表面伝導度の関数として簡潔に記述可能な、改良型の表面伝導モデルを提案し、適用する。その結果が従来の4×4行列法による解析結果と一致することを示し、本モデルの有効性および今後の応用可能性について議論する。