講演情報
[7a-N321-5]シリコンナノワイヤモスアイによるミリ波帯の反射率低減効果
〇(M1C)白川 滉基1、杉本 義喜1、加藤 慎也1 (1.名工大院工)
キーワード：
シリコンナノワイヤ、シリコンアンテナレンズ
高誘電率シリコンウエハ表面に、金属触媒化学エッチング法によりシリコンナノワイヤ（SiNW）構造を形成し、ミリ波帯反射率の低減を実現した。疑似モスアイ構造による界面インピーダンス整合により、反射率は最大33%から3%まで抑制された。反射率とSiNW体積割合の関係も明らかにし、今後は曲面レンズへの応用を目指す。