[7a-N322-1~11] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

9:15 〜 9:30

[7a-N322-2] 最大発振周波数(f_MAX)> 120 GHzダイヤモンドMOSFET

サハ ニロイ　チャンドラ¹、江口 正徳²、牟田 吉希¹、大石 敏之¹、冨木 淳史³、〇嘉数 誠^1,4 (1.佐賀大院理工、2.佐賀大シンクロトロン、3.JAXA宇宙科学研究所、4.（株）ダイヤモンドセミコンダクター)

キーワード：

ダイヤモンド、パワーデバイス

世界最高となる最大発振周波数(fMAX)> 120GHzを示すダイヤモンドMOSFETを作製した。