2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[7a-P01-2]
EUVスペクトルのCO₂レーザーパルス幅依存性
〇早坂 信太朗
1
、矢澤 隼斗
1
、空本 龍也
1
、小倉 望
1
、佐藤 稜馬
1
、難波 慎一
2
、東口 武史
1
(1.宇都宮大、2.広島大)
キーワード：
極端紫外光、レーザー生成プラズマ、炭酸ガスレーザー
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