講演情報
[7a-P01-6]EUV多層膜ミラー用の化学エッチング自動化装置
〇(M1)柴田 涼平1、緒形 凜久1、中込 由美恵1、豊田 光紀1 (1.東京工芸大工)
キーワード：
Mo/Si多層膜ミラー、極紫外線
EUV顕微鏡に用いるMo/Si多層膜ミラーには、ミラー基板の形状誤差による波面収差が存在する。我々は化学エッチングにより、Mo/Si多層膜ミラーの反射率を保ったまま、多層膜構造を上部から１層ずつ除去する新手法を見いだした。この手法では、基板の表面研磨に比べて1/100の精度で波面を制御できる。本講演では、この手法の最適化に必要な自動エッチングマシンの開発について報告する。