2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[7a-P05-40]
DeepMDを用いたリモートエピ膜剥離の模擬
〇荒木 脩斗
1
、森本 満
1
、前川 拓滋
1
、宮前 義範
1
、中原 健
1
、尾方 成信
2
(1.ローム株式会社、2.大阪大学)
キーワード:
リモートエピタキシー、DeepMD
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