講演情報

[7a-P05-40]DeepMDを用いたリモートエピ膜剥離の模擬

〇荒木 脩斗1、森本 満1、前川 拓滋1、宮前 義範1、中原 健1、尾方 成信2 (1.ローム株式会社、2.大阪大学)

キーワード:

リモートエピタキシー、DeepMD