[7a-P05-1~80] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[7a-P05-61] WSe₂上のALD実現に向けたUV-O₃暴露と真空アニールによる最表面へのSe欠陥導入

〇榎本 璃玖¹、松田 健生¹、柯 梦南²、クリューガー ピーター¹、青木 伸之¹ (1.千葉大融合理工、2.横浜国大)

キーワード：

遷移金属ダイカルコゲナイド、2次元物質、high-k 絶縁膜