講演情報
[7a-P05-70]MoS2 とカーボンナノチューブをチャネルとする FET 型ガスセンサの応答特性の比較
〇稲葉 優文1、岡田 光博2、沖川 侑揮2、山田 貴壽2 (1.九大シス情、2.産総研)
キーワード：
ガスセンサ、二硫化モリブデン、カーボンナノチューブ
二硫化モリブデン（MoS2）やカーボンナノチューブ(CNT)といった低次元材料は、その表面感度の高さからガスセンサとしての応用が期待されている。これらの材料は NO2ガスに対して応答を示すことがわかっている。一般に、大気中では MoS2はn型、CNTは両極の特性を示し、それぞれ NO2ガスへの曝露によりしきい値電圧の変化が観測される。本研究では、これらの NO2ガス応答を比較し、両者のガス応答の特徴を見出すことを目的とした。