2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[7a-P05-75]
WSe
2
上へのF6-TCNNQ単層膜によるデュアルゲートFETの特性向上
〇松田 健生
1
、野口 裕士
1
、瀬戸 大暉
1
、柯 梦南
2
、熊谷 翔平
3
、岡本 敏宏
3
、青木 伸之
1
(1.千葉大院、2.横国大院、3.科学大院)
キーワード:
半導体、遷移金属ダイカルコゲナイド、原子層堆積法
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