講演情報

[7a-P05-75]WSe2上へのF6-TCNNQ単層膜によるデュアルゲートFETの特性向上

〇松田 健生1、野口 裕士1、瀬戸 大暉1、柯 梦南2、熊谷 翔平3、岡本 敏宏3、青木 伸之1 (1.千葉大院、2.横国大院、3.科学大院)

キーワード:

半導体、遷移金属ダイカルコゲナイド、原子層堆積法