[7a-S103-1~7] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（２）

10:00 〜 10:05

[7a-S103-1] オープニング

〇霜垣 幸浩¹ (1.東大院工)

キーワード：

原子層成長、原子層エッチング、原子層プロセス

シンポジウム「原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術」の開催趣旨や国内外でのALP関連学会・ワークショップの開催状況などを紹介する。