[7a-S103-1~7] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（２） | 2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

シンポジウム(口頭講演)シンポジウム：原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（２）

2025年9月7日(日) 10:00 〜 12:05

S103 (共通講義棟南)

10:00 〜 10:05

〇霜垣幸浩¹ (1.東大院工)

10:05 〜 10:35英語発表

〇Hyeongtag Jeon¹ (1.Hanyang University)

10:35 〜 11:05

〇京兼広和¹ (1.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社)

11:05 〜 11:20

〇玉置直樹¹、山口潤¹、佐藤登¹、筑根敦弘¹、霜垣幸浩¹ (1.東大院工)

11:20 〜 11:35英語発表

〇(M2)Yichen ZOU¹, Yuxuan Wu¹, Jun Yamaguchi¹, Noboru Sato¹, Atsuhiro Tsukune¹, Yukihiro Shimogaki¹ (1.The Univ. Tokyo)

11:35 〜 11:50

〇嶋田章吾¹、袴塚充寛¹、佐野敦¹、服部真也¹、藪聡志¹、柄澤元¹ (1.KOKUSAI ELECTRIC)

11:50 〜 12:05奨励賞エントリー

〇(D)土射津佑起¹、大塚照久²、山崎将嗣²、大堀大介¹、遠藤和彦¹ (1.東北大流体研、2.産総研)