[7p-N104-1~8] ナノスケール計測技術の最前線〜プローブ顕微鏡が拓く極微電子計測

16:05 〜 16:35

[7p-N104-7] 時間分解ケルビンプローブフォース顕微鏡による有機薄膜トランジスタの微視的電気特性評価

〇小林 圭¹ (1.京大工)

キーワード：

原子間力顕微鏡、有機半導体、トランジスタ

時間分解静電気力顕微鏡（tr-EFM）および時間分解ケルビンプローブフォース顕微鏡（tr-KPFM）を用いた有機薄膜トランジスタ（OTFT）におけるキャリアダイナミクス評価について、各手法を概説するとともに、これまでの微視的電気特性評価事例を紹介する。