2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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16:30 〜 16:45
奨励賞エントリー
[7p-N202-12]
複合成膜により成膜したSiO
2
光学薄膜の構造
〇馬 ウイシー
1
、楊 宇航
1
、森川 康大
1
、田島 直弥
1
、松平 学幸
2
、室谷 裕志
1
(1.東海大院工、2.(株)シンクロン)
キーワード：
光学薄膜、二酸化ケイ素
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