講演情報
[7p-N202-7]単相オーリビリウス型鉄酸フッ化ビスマス薄膜の作製
〇上垣外 明子1、重松 圭2、片山 司3、廣瀬 靖4、近松 彰1 (1.お茶大理、2.科学大フロンティア研、3.北大電子研、4.都立大理)
キーワード：
鉄酸フッ化ビスマス、オーリビリウス相、固相エピタキシー法
本研究では、固相エピタキシー法により、Bi2FeOxアモルファス薄膜のフッ化から単相のオーリビリウス型鉄酸フッ化ビスマス薄膜を作製した。X線回折測定から、フッ化後の薄膜には、基板付近にオーリビリウス型鉄酸フッ化ビスマスと、表面付近に配向した層状酸フッ化物BiOFが形成されるが、洗浄によりBiOFは容易に取り除かれ、単相オーリビリウス型鉄酸フッ化ビスマス薄膜が得られることが明らかになった。