[7p-N301-1~17] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

14:30 〜 14:45

[7p-N301-7] マルチショット・フラッシュランプアニールによるAl:HfO₂ 薄膜の分極特性向上

〇谷 勇佑¹、植野 雄守¹、谷村 英昭¹、三船 智哉²、藤沢 浩訓²、中嶋 誠二²、大坂 藍²、加藤 慎一¹、三河 巧¹ (1.SCREEN セミコンダクターソリューションズ、2.兵庫県立大学)

キーワード：

強誘電体、フラッシュランプアニール