講演情報
[7p-N302-14]c-Al2O3基板上への金薄膜成長
〇金 明玉1、岡田 至崇1 (1.東大先端研)
キーワード：
金(111)、サファイア、熱蒸着
本研究は、TMDCの金属基板上でのエピタキシー成長に向けて、サファイア基板上にAu (111)の単結晶薄膜が熱蒸着できるか調査を行った。ｃ面サファイア基板上に基板温度550 ℃でAuを熱蒸着した場合、(111)面が顕著な膜厚150 nmの薄膜を作製できた。しかし、XRD評価で(200)面や(220)面も観察できたことから多結晶膜であることが分かった。