講演情報
[7p-N305-18]CMOS-グラフェン集積センサのアレイ化
〇佐藤 光翼1、齋藤 優人1、横式 康史2、渡辺 剛志2、黄 晋二2、德田 崇1 (1.東京科学大、2.青山学院大)
キーワード：
グラフェン、バイオセンサ
グラフェンは炭素が蜂の巣状に結合した2次元物質であり、外部環境や吸着物質に対して鋭敏な特性変化を示し、また、化学修飾により分子選択性を付与できることから高性能センサ材料として注目されている。我々は、CVDで形成したグラフェンをCMOSチップ上に転写し、高機能なCMOS-グラフェン集積センサの実現を目指している。今回、グラフェンセンサアレイの設計・評価を行ったので報告する。