[7p-N403-1~9] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

14:30 〜 14:45

[7p-N403-5] サファイア基板上へのMg₂Si薄膜のエピタキシャル成長

〇坂根 駿也¹、古田 良輔¹、栗山 武琉¹、鮎川 瞭仁¹、鵜殿 治彦¹ (1.茨大院理工)

キーワード：

Mg2Si、MBE、薄膜

本研究では、分子線エピタキシー法によりMg₂Si薄膜をサファイア基板上にエピタキシャル成長し、その電気特性を評価した。