2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
過去のプログラム
English
ご利用ガイド
メインメニュー
開催情報
お知らせ(0)
大会HP
プログラム
セッション一覧
講演検索
タイムテーブル
2025年9月7日 (日)
2025年9月8日 (月)
2025年9月9日 (火)
2025年9月10日 (水)
詳細検索
トップ
セッション一覧
セッション詳細
講演情報
講演情報
[7p-P01-13]
光散乱式ウエハ表面検査装置を用いたプラズマ照射半導体基板の表面ダメージ評価
〇(M1)山本 悠矢
1
、今井 賢人
1
、浅川 和宣
2
、深津 邦夫
2
、王谷 洋平
3
、佐藤 哲也
1
(1.山梨大、2.YGK、3.諏訪東京理科大)
キーワード:
パーティクルスキャナ、GeO2、欠陥
セッション詳細へ戻る