講演情報

[7p-P01-13]光散乱式ウエハ表面検査装置を用いたプラズマ照射半導体基板の表面ダメージ評価

〇(M1)山本 悠矢1、今井 賢人1、浅川 和宣2、深津 邦夫2、王谷 洋平3、佐藤 哲也1 (1.山梨大、2.YGK、3.諏訪東京理科大)

キーワード:

パーティクルスキャナ、GeO2、欠陥