[7p-P01-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[7p-P01-15] Si系およびカーボン系材料のプラズマエッチング耐性評価

〇(M1)豊田 純一¹、野口 恭史²、飯塚 敏洋²、佐藤 哲也¹ (1.山梨大、2.日本サムスン)

キーワード：

低温エッチング、容量結合プラズマ、ダイヤモンド・ライク・カーボン