講演情報
[7p-P01-2]水素フリーDLC 成膜用容量結合型高周波CO プラズマ基礎特性の数値解析
〇(M2)滝口 達也1、針谷 達2、上坂 裕之2、小田 昭紀1 (1.千葉工大、2.岐阜大)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン、プラズマCVD、シミュレーション
COガスを原料ガスとしたプラズマCVD法を用いることで, 水素フリーなダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜を作製できる. しかし, COガス由来のDLC膜は，膜中に水素を含まない一方で, 酸素を含有するため膜硬度が十分に向上しない課題がある. この課題にアプローチするため, 本研究では, より高い硬度を有する水素フリーDLC膜の成膜プロセスを開発することを目的として, COガスを用いた高周波プラズマCVD法に着目した. 本稿では, 容量結合型RFプラズマの空間1次元流体モデルを新たに構築しシミュレーションを行った.