[7p-P01-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[7p-P01-4] a-C:H/CNP/a-C:H構造薄膜における界面の物理的・化学的特性

〇小野 晋次郎¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情)

キーワード：

プラズマCVD、カーボンナノ粒子、応力低減