講演情報
[7p-P01-5]粉体ターゲットプロセスによるFe, Mo傾斜機能性膜の作製
〇川崎 仁晴1、佐竹 卓彦1,2、池田 晃裕2、佐々木 徹3、菊池 崇士3 (1.佐世保高専、2.崇城大学、3.長岡技科大)
キーワード：
傾斜機能性薄膜、スパッタリング、プラズマ
本研究では、これを発展させ、さらに水素脆化効果が高いMoの粉体ターゲットをもちいて、基板と薄膜の界面ではより密着性がよく、高圧水素に密着する薄膜側では水素脆化防止効果が高いような傾斜機能性薄膜の作製を試みた。結果から、ターゲット粉体中のMoO3/ Fe2O3の組成比を制御することで、薄膜中のMo/Fe組成比は制御できることが示唆された。また、MoO3/ Fe2O3の粉体を用いた作製した傾斜機能性薄膜のXPS分析結果から、薄膜最表面はMoが多く、基板側に進むにつれてFe成分が多くなる傾斜機能成膜が作製されていることが分かった。