[7p-P01-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[7p-P01-6] 中圧スパッタリングによるナノ構造Sn系薄膜の作製とLiイオン電池負極への応用

〇長谷川 祥之¹、上田 竜雄¹、寺田 圭吾¹、藤掛 大貴¹、村瀬 瑠汰¹、山崎 稜介¹、坂口 浩貴¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

スパッタリング、リチウムイオン電池