2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[7p-P01-7]
スパッタリングによるLiLaZrO電解質薄膜のイオン伝導率評価
〇村瀬 瑠汰
1
、上田 竜雄
1
、寺田 圭吾
1
、長谷川 祥之
1
、藤掛 大貴
1
、山崎 稜介
1
、坂口 浩貴
1
、内田 儀一郎
1
(1.名城大理工)
キーワード：
LiLaZrO、スパッタリング
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