講演情報

[7p-P01-8]2元スパッタリングによる Ge-Si 薄膜の堆積と Li イオン電池への応用

〇藤掛 大貴1、上田 竜雄1、寺田 圭吾1、長谷川 祥之1、村瀬 瑠汰1、山崎 稜介1、坂口 浩貴1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)

キーワード:

スパッタリング、リチウムイオン電池