[7p-P02-1~5] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[7p-P02-5] 3 元系 Si ナノワイヤー薄膜の特性と Li イオン電池負極への応用

〇山崎 稜介¹、上田 竜雄¹、寺田 圭吾¹、長谷川 祥之¹、藤掛 大貴¹、村瀬 瑠汰¹、坂口 浩貴¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

スパッタリング、Li電池