講演情報
[7p-P07-19]GdBa2Cu3O7-δフリースタンディング薄膜の作製
〇守永 昂世1、カイ ワルター2、イェンツ ヘーニッシュ2、飯田 和昌1 (1.日大、2.カールスルー工科大)
キーワード：
銅酸化物超伝導体、フリースタンディング薄膜、薄膜
フリースタンディング超伝導薄膜は、基板の影響を受けずに材料本来の性質を評価できるため、ひずみや異方性、輸送特性の理解に役立ち、デバイス応用の柔軟性も高い。本研究では、水に溶けるSr3Al2O6を犠牲層として用いたGdBa2Cu3O7-δ薄膜を作製し、脱イオン水によるエッチングが薄膜に与える影響を評価した。