講演情報

15:30 〜 15:45

[7p-S203-10]液相塗布法によるCNTフォレスト合成と熱抵抗評価

〇(M1)村上義直¹、井上翼¹、中野貴之¹ (1.静岡大学院工)

カーボンナノチューブ

本研究では、カーボンナノチューブ（CNT）を大面積基板上に合成するため、全ての触媒層を液相塗布法により形成し、CVDでCNTを成長させた。さらに、得られたCNT層の熱抵抗を評価し、熱界面材料（TIM）への応用可能性を検討した。