[8a-N105-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

9:15 〜 9:30

[8a-N105-2] 大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた酸化インジウムの成膜

〇堀川 大貴¹、竹中 弘祐²、節原 裕一²、太田 貴之¹ (1.名城大理工、2.阪大接合研)

キーワード：

酸化物半導体、酸化インジウム、大電力パルスマグネトロンスパッタ