講演情報
[8a-N105-3]In2O, H2O原料ガスを用いた酸化インジム結晶成長：熱力学解析と成長挙動の実験的評価
〇富樫 理恵1、石川 真人2 (1.上智大理工、2.気相成長（株）)
キーワード：
エピタキシャル成長、熱力学解析、酸化インジウム
本研究では、原料部で高純度金属InとH2Oガスの反応によりIn2Oガスを選択的に生成し、成長部で生成したIn2Oガスと追加供給するH2Oガスとの反応によりIn2O3を成長させる新規成長プロセスを提案する。In2O3成長に関する熱力学解析を実施し、その結果に基づいて成長装置を構築、成長実験を行い成膜挙動を確認したので報告する。