[8a-N105-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

10:15 〜 10:30

[8a-N105-6] 極性In₂O₃(100)比向上によるTFTガスセンサーのCO₂高感度化

〇(M1)海老澤 雄一朗¹、車 振赫²、山口 智広¹、相川 慎也¹ (1.工学院大、2.全南大)

キーワード：

薄膜トランジスタ、CO2センサー、多結晶