[8a-N201-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

9:00 〜 9:15

[8a-N201-1] 高濃度Scを含むSc_xAl_1-xNのエピタキシャル成長

〇清水 荘雄¹、大橋 直樹^1,2 (1.NIMS、2.科学大MDXセ)

キーワード：

強誘電体膜