講演情報
[8a-N201-10]スパッタ法のガス比によるAlN薄膜の極性制御と二次モード分極反転共振子の作製
〇花井 彩香1,2、柳谷 隆彦1,2 (1.早大先進理工、2.材研)
キーワード：
分極反転、極性制御、純窒化アルミ
RFマグネトロンスパッタ法においてAr/N₂ガス比を制御することで、通常Al極性成長するAlN薄膜の極性をN極性成長させる手法を検討した。得られた分極反転膜を用いて、二層構造の分極反転SMRを試作し、反共振周波数のシフト相殺とkeff²の向上から、分極反転構造の形成を実証した。