[8a-N206-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[8a-N206-4] 時間分解走査型非線形誘電率顕微鏡による掃引時間可変局所CV特性測定法の開発 -電圧掃引速度の高速化-

〇鈴木 智博^1,2、山末 耕平² (1.東北大院工、2.東北大通研)

キーワード：

走査型非線形誘電率顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡、半導体

MISデバイスの特性は絶縁膜-半導体間の界面特性に強く依存する．本研究では，界面特性を微視的に評価可能な時間分解走査型非線形誘電率顕微鏡を用いた局所CV特性測定において，従来10～100 µs/cycleに制限されていた電圧掃引時間を1～10 µs/cycleまで高速化した．前回の報告とあわせて，掃引時間が1 µs～10 ms/cycleの5桁にわたる局所CV特性測定が実現できることを示す．