[8a-N221-1~12] 3.6 レーザープロセシング

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[8a-N221-6] レーザー微細加工による圧電特性の向上

〇寺島 日海¹、宋 俊東^2,3、柴尾 直樹²、小野 晋吾¹、春本 高志³、史 蹟³、中嶋 宇史²、岡村 総一郎² (1.名工大、2.理科大、3.科学大)

キーワード：

フェムト秒レーザー加工、圧電薄膜

機械-電気変換効果を有する圧電材料は、センサやアクチュエータに応用されている。特にMEMS分野では、圧電薄膜が用いられているが、基板拘束により変形が制約され、圧電効果が低下してしまうという課題がある。これに対して、微細構造を形成して拘束を緩和する方法が注目されている。本研究では、レーザー加工により大面積に微細構造を形成して圧電効果の向上を図った。