[8a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:30 〜 9:45

[8a-N301-3] AlGaN系far-UVC LEDにおける組成傾斜層の検討

〇赤池 良太^1,2、安永 弘樹^2,3、中村 孝夫^1,2、市川 修平^4,5、小島 一信⁴、土谷 正彦⁶、三宅 秀人^1,2 (1.三重大院工、2.三重大半デセンター、3.三重大研基機構、4.阪大院工、5.阪大電顕セ、6.スタンレー電気)

キーワード：

AlGaN、far-UVC、組成傾斜AlGaN層