[8a-N321-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

10:15 〜 10:30

[8a-N321-4] 蓄熱によるDLC膜表面層の増大

〇村岡 祐治¹、榎本 奨²、岳 強³、横谷 尚睦¹、岡﨑 宏之⁴ (1.岡山大基礎研、2.岡山大院環境生命自然科学、3.岡山大院自然科学、4.量研)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、表面層、蓄熱

ダイヤモンドライクカーボンの表面層が増大する原因を、ラマン分光と光電子分光測定、および分子動力学シミュレーーションにより調べた。その結果、膜内で生じる蓄熱に起因した温度上昇が原因であることを明らかにした。