[8a-N324-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

10:00 〜 10:15

[8a-N324-5] ミニマルファブシステムを用いたTSV作製とI/V特性評価

〇高野 拓郎¹、関藤 竜平²、居村 史人²、田中 宏幸³、三浦 典子³、原 史朗³、青西 亨⁴、赤井 一郎⁵、寺澤 靖雄¹、橋新 剛⁵ (1.株)ニデック、2.株)Hundred Semiconductors、3.産総研、4.東京大学、5.熊本大学)

キーワード：

ミニマルファブ、TSV