講演情報

10:00 〜 10:15

[8a-N324-5]ミニマルファブシステムを用いたTSV作製とI/V特性評価

〇高野拓郎¹、関藤竜平²、居村史人²、田中宏幸³、三浦典子³、原史朗³、青西亨⁴、赤井一郎⁵、寺澤靖雄¹、橋新剛⁵ (1.株)ニデック、2.株)Hundred Semiconductors、3.産総研、4.東京大学、5.熊本大学)

ミニマルファブ、TSV