講演情報
[8a-N324-7]ミニマルファブにおけるCMOSデバイスの微細化プロセスの開発手法
〇三浦 典子1、小粥 敬成2、池田 伸一1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.Hundred Semiconductors)
キーワード：
ミニマルファブ、微細化、プロセス開発
従来のメガファブでは、3年で約0.7倍の速度で1世代ずつプロセスを確立しながら微細化が進められてきたが、ミニマルファブでは、短TAT試作,マスク不要という優位性を活かし、従来とは異なる方法で短期間に微細化プロセスの確立を目指す。その具体的方法について、議論する。