[8a-N401-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

11:45 〜 12:00

[8a-N401-10] 高抵抗Si(001)基板上におけるPドープSi薄膜の固相成長

〇木村 優希¹、柴山 茂久¹、坂下 満男¹、黒川 康良^1,2、宇佐美 徳隆^1,2,3、中塚 理^1,3、黒澤 昌志¹ (1.名大院工、2.名大未来機構、3.名大未来研)

キーワード：

半導体、シリコン