2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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12:00 〜 12:15
[8a-N401-11]
スクリーン印刷を用いた大面積SiGe/Si基板の開発
〇中尾 凌
1
、鈴木 紹太
1
、松原 萌子
1
、南山 偉明
1
、ダムリン マルワン
2
(1.東洋アルミ、2.阪大)
キーワード:
半導体、SiGe、スクリーン印刷
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