講演情報

[8a-N401-11]スクリーン印刷を用いた大面積SiGe/Si基板の開発

〇中尾 凌1、鈴木 紹太1、松原 萌子1、南山 偉明1、ダムリン マルワン2 (1.東洋アルミ、2.阪大)

キーワード:

半導体、SiGe、スクリーン印刷