2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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10:15 〜 10:30
[8a-N401-4]
室温下でのGe/Si(111)基板上GeH薄膜の高速形成
〇中嶋 海都
1
、中山 敦稀
1
、Wen Wei-Chen
2
、山本 裕司
2
、柴山 茂久
1
、坂下 満男
1
、中塚 理
1,3
、洗平 昌晃
1,3
、黒澤 昌志
1
(1.名大院工、2.IHP - Leibniz Institute for High Performance Microelectronics、3.名大未来研)
キーワード:
半導体、2次元材料
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