講演情報
[8a-N401-4]室温下でのGe/Si(111)基板上GeH薄膜の高速形成
〇中嶋 海都1、中山 敦稀1、Wen Wei-Chen2、山本 裕司2、柴山 茂久1、坂下 満男1、中塚 理1,3、洗平 昌晃1,3、黒澤 昌志1 (1.名大院工、2.IHP - Leibniz Institute for High Performance Microelectronics、3.名大未来研)
キーワード:
半導体、2次元材料
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