[8a-N403-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

9:15 〜 9:30

[8a-N403-2] 硫酸を用いたSiO₂/Si 構造の作製の検討

〇鬼塚 翔平、原田 星輝、岩崎 好孝、上野 智雄

キーワード：

溶液酸化法