セッション詳細

[8a-N403-1~10]13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2025年9月8日(月) 9:00 〜 11:45
N403 (共通講義棟北)

[8a-N403-1]ウェットプロセスで形成した Si トレンチ構造底部の表面状態の観測

〇村瀬 詩花1、東 知樹1、稲垣 耕司1、有馬 健太1 (1.阪大院工)

[8a-N403-2]硫酸を用いたSiO₂/Si 構造の作製の検討

〇鬼塚 翔平、原田 星輝、岩崎 好孝、上野 智雄

[8a-N403-3]半導体基板上に形成した極薄酸化膜における膜厚の新解析法
-X線光電子分光法と数値解析の融合によるアプローチ-

〇高野 宏樹1、稲垣 耕司1、有馬 健太1、宮川 彰平2、竹田 拓馬2、尾辻 正幸2、澤田 康一2 (1.阪大院工、2.株式会社SCREENホールディングス)

[8a-N403-4]Influence of annealing ambient on the ferroelectric characteristics of HfN thin films formed by ECR-plasma sputtering

〇(D)KANGBAI LI1, Shun-ichiro Ohmi1 (1.Science Tokyo)

[8a-N403-5]極薄Siチップの抗折強度評価手法の検討

〇野村 一城1、山下 祐馬1、阿部 慶樹1、大橋 健一1、川城 史義1、野田 貴三1 (1.東芝デバイス&ストレージ株式会社)

[8a-N403-6]Influence of the Up-Conversion Effect on the Photocatalytic Activity of NaLuF4:Yb:Ho@NaLuF4:Yb:Nd@TiO2 Core–Shell Structures under Visible Light Irradiation

〇(PC)Joanna Nadolna1,2, Routian Chen1,3, Pawel Mazierski2, Zhishun Wei4, Tomasz Grzyb5, Patrycja Szwedowska2, Prajakta Kokate1, Keshav Dani1 (1.Okinawa Inst. of Sci. and Tech. Grad. Univ., 2.Univ. of Gdansk, 3.Dalian Inst. of Chem. Phys., 4.Hubei Univ. of Tech., 5.Adam Mickiewicz Univ.)

[8a-N403-7]機械学習力場MDを用いたa-(SiO2)x(Al2O3)1-x/GaN界面の欠陥状態解析

〇佐藤 昂輝1、上沼 睦典2、陣内 亮典1、旭 良司1 (1.名大工、2.産総研)

[8a-N403-8]変分オートエンコーダを用いた不純物分布生成の高精度化による半導体ナノワイヤ中の電子伝導特性の設計(に関する研究)

〇杉山 聖1、伊藤 佳卓1、須子 統太2、村口 正和1 (1.北科大工、2.早大)

[8a-N403-9]SiCショットキーバリアダイオードにおけるトラップアシストトンネル電流の理論解析

〇小川 諒1、田中 一1,2、森 伸也1 (1.阪大院工、2.関学大工)

[8a-N403-10]3C/4H-SiCヘテロ構造のデバイス特性に対する影響のTCAD解析

〇(M1)下條 滉太1、畠山 哲夫1、長澤 弘幸2,3 (1.富山県立大、2.CUSIC、3.東北通研)