2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8a-P05-19]
Mist CVD法における窒化銅成長にガス種が与える影響
〇(M1)涌井 皇輝
1
、杉田 直樹
1
、大村 和世
2
、月岡 知里
1
、永井 裕己
1
、尾沼 猛儀
1
、本田 徹
1
、山口 智広
1
(1.工学院大、2.東北大)
キーワード：
窒化銅、ミスト化学気相成長
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