講演情報
[8a-P05-7]TiO2をバッファー層とするガラス上へのバナジル化合物によるVO2膜の化学合成と結晶性に関する研究
〇下野 慎平1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工)
キーワード：
化学合成、二酸化バナジウム、酸化チタン(IV)
VO2は68℃付近で絶縁体-金属転移を示し, 電気抵抗値が4～5桁, 赤外透過率も大きく変化するため, スマートウィンドウ等への応用が期待されている. 本研究では高透光性と光応答性向上を目的に, VO2結晶粒径をナノレベル制御が可能な作製手法の1つである, 化学合成法によりVO2膜を作製した. スピンコート後の熱処理条件及び結晶性の関係を評価し, その結果について本講演で報告をする.